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高NA光学系の点像｜株式会社 ティー・イー・エム
TECHNICAL INFORMATION
技術情報
2025.07.01
光学シミュレーションソフト
テーマ：
高NA光学系の点像
カメラレンズのように像面でのNAが、比較的小さい光学系の点像は円形であることはよく知られています。ところが、大きなNAを有する光学系に直線偏光を入射させると、その点像は楕円状になります。
下図のようなレンズ光学系にX軸方向の直線偏光を入射させます。解析には光を電磁波としてベクトル量を解析する VirtualLab Fusionを使用します。
像面での点像を解析すると下図の結果が得られます。
Ex、Ey成分と比較して相対的に大きな Ez 成分のために、スポット形状は扁平して、非対称な形状となります。これはEz成分を考慮しない、スカラー回折理論をベースとしたプログラムでは計算することはできません。