技術情報

2025.07.01

光学シミュレーションソフト

テーマ：

高NA光学系の点像

カメラレンズのように像面でのNAが、比較的小さい光学系の点像は円形であることはよく知られています。ところが、大きなNAを有する光学系に直線偏光を入射させると、その点像は楕円状になります。

下図のようなレンズ光学系にX軸方向の直線偏光を入射させます。解析には光を電磁波としてベクトル量を解析する VirtualLab Fusionを使用します。

高NA光学系の点像

像面での点像を解析すると下図の結果が得られます。

高NA光学系の点像

Ex、Ey成分と比較して相対的に大きな Ez 成分のために、スポット形状は扁平して、非対称な形状となります。これはEz成分を考慮しない、スカラー回折理論をベースとしたプログラムでは計算することはできません。

関連記事

一覧に戻る

  • 人気記事

お電話からお問い合わせ

03-6265-3310

メールからお問い合わせ

お問い合わせフォームへ