顕微鏡搭載 微細加工・小型YAGレーザー|(株)ティー・イー・エム

レーザー・光源(YAGレーザー)
加工・計測・分析(YAGレーザー加工機)

顕微鏡搭載 微細加工・小型YAGレーザー

HOYA

加工安定性を追究した小型YAGレーザー発振器で、空冷タイプのHSL-4000 (II,III含む)シリーズ / 水冷タイプのHSL-5000 (II,III含む)シリーズ は研究開発から生産現場まで、多数の販売実績のある高信頼性のリペア用小型YAGレーザーシステムです。波長別に各シリーズ8機種がラインナップされ、加工内容に応じて最適な装置を選択いただけます。
微細加工
最小0.5μm〜最大300μmサイズ加工を実現
使いやすいデザイン
多機能コントロールボックス
サポート体制
充実したカスタマーサービス

製品カタログPDF

アプリケーション

  • 解析用ポイントマーキング

  • クロム膜加工

  • IC下層配線露出全景

  • IC保護膜剥離全景

  • 有機EL

スペック(製品仕様)

  • HSL-4000Ⅲ
    • 冷却方法:強制空冷
    • 周波数:1〜6Hz
    • 発振波長:1064nm/532nm/355nm/266nm
    • 最大出力エネルギー(mJ/pluse):0.8〜2
    • 最大ピークパワー(MW):0.08〜1.7
    • パルス幅(nsec):8~5
  • HSL-5000Ⅲ
    • 冷却方法:水冷
    • 周波数:1〜20Hz
    • 発振波長:1064nm/532nm/355nm/266nm
    • 最大出力エネルギー(mJ/pluse):0.8〜2
    • 最大ピークパワー(MW):0.08〜1.7
    • パルス幅(nsec):8~5
  • HSL-5500Ⅲ
    • 冷却方法:水冷
    • 周波数:1〜50Hz
    • 発振波長:1064nm/532nm/355nm/266nm
    • 最大出力エネルギー(mJ/pluse):0.8〜2
    • 最大ピークパワー(MW):0.08〜1.7
    • パルス幅(nsec):8~5

システムの紹介

HSLシリーズを用いて、装置のシステムアップが可能です。



デモルームのご案内

弊社ではデモ機を常設しております。イメージ通りの加工が行えるか、操作方法は簡単か、ご導入前の評価や既に導入されているシステムの更新のご検討などで、お気軽にお立ち寄りください。

HOYA

国内初の光学ガラス専門メーカーであり、高度なオプティクス技術をもとに社会のさまざまな分野に貢献しているHOYA株式会社。 そのグループの一員としてホトニクス事業及びオプティクス事業の一翼を担ってきたHOYA CANDEO OPTRONICS株式会社が、HOYA株式会社と合併し、同社オプティクス事業部門と組織統合しました。従来のレーザー発振器やUV照射システム、色ガラスフィルターなどの製品群と、オプティクス事業部門の光学ガラス・レンズに関する技術・ノウハウをより緊密に連携し、双方の強みを生かしてシナジーを創出して新たな製品開発を積極的に行っております。